华润微电子相干项目获2019年度国度科技进步二等奖

作者: 收集侠 分类: 科技聚焦 发布时间: 2020-01-14 11:34

  上证报中国证券网讯 1月10日,国度迷信技巧嘉奖大年夜会在北京举办,华润微电子无限公司旗下无锡华润上华科技无限公司(以下简称“华润上华”)参与的“高性能MEMS器件设计与制造关键技巧及应用”项目获国度迷信技巧进步奖二等奖。

  据悉,该项目由西北大年夜学、江苏英特神斯科技无限公司、无锡华润上华科技无限公司三家单位协作完成。项目成果针对中国微电机体系(MEMS)家当链关键技巧成绩,体系研究开辟了MEMS设计技巧与设计对象、制造工艺和在线检测和高性能压力传感器技巧,推动了中国MEMS技巧的家当化生长。

  据简介,该成果构成了高精度硅各向异性腐化模仿、厚胶光刻工艺模仿、工艺流程模仿等11个软件模块,完成了贸易化,国际用户40余个,远销美国、日本等。关键技巧已应用于华润上华范围化临盆线,构成批量临盆才能并为国表里用户代工逾越10万片,支撑了压力传感器系列、麦克风系列等MEMS器件临盆,产品已在智能电子、工业控制、情况监测等范畴广泛应用。

  在该项目中,华润上华详细开辟了MEMS外面加工、体加工、键合加工等成套制造工艺技巧及检测技巧,优化了制造工艺及流程,实施了MEMS临盆制造工艺、在线检测技巧和代工办事。硅基MEMS制造工艺模仿及工艺优化技巧大年夜大年夜增添了工艺条件和参数的反复实验,降低了工艺开辟本钱并优化了工艺条件及其流程,延长了制造工艺开辟周期。

  “MEMS有极强的应用渗透渗出力,然则中国的MEMS家当化生长较慢,设计与制造核心技巧被国外垄断。”华润上华副总经理苏巍表示,“我们乐见公司在MEMS范畴垦植多年的成果,也异常乐于持续连袂家当链同伴为完成MEMS的国产化而尽力。今朝,华润上华MEMS工艺技巧正依筹划由成熟的6英寸向8英寸转移,等待能为更多IC设计公司供给MEMS产品办事。”(张雷)

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